【摘 要】
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微纳米尺度的DLC膜广泛应用于工业领域，尤其在陶瓷球轴承中起到了有效的减摩抗磨作用。本文运用分子动力学方法和有限元法来研究DLC膜的压痕和划擦过程，分析了陶瓷球轴承中微纳米DLC膜的力学和摩擦学特性，为微纳米DLC膜的分析方法奠定基础。分别用Tersoff势和EAM势描述氮化硅基体与DLC膜、金属基体与DLC膜接触界面的原子间作用力，然后采用蒸汽均匀冷凝的方法生成DLC膜并通过分析截断半径、密度和
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微纳米尺度的DLC膜广泛应用于工业领域，尤其在陶瓷球轴承中起到了有效的减摩抗磨作用。本文运用分子动力学方法和有限元法来研究DLC膜的压痕和划擦过程，分析了陶瓷球轴承中微纳米DLC膜的力学和摩擦学特性，为微纳米DLC膜的分析方法奠定基础。分别用Tersoff势和EAM势描述氮化硅基体与DLC膜、金属基体与DLC膜接触界面的原子间作用力，然后采用蒸汽均匀冷凝的方法生成DLC膜并通过分析截断半径、密度和势函数对DLC膜属性的影响，确定合适的模拟条件，为后续模拟做好准备。基体对薄膜的力学和摩
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