随着科学技术的发展,对产品的小型化和精密化程度的要求越来越高,各种微细加工也得到了广泛的应用。本文通过对微细电火花加工、微细电解加工和微细切削加工进行分析研究,针对各种加工无法满足不同材料、不同结构加工要求的弊端,创新性地提出了将微细电火花加工、微细电解加工和微细切削加工综合于一个平台的多功能微细加工平台方案。在多功能微细加工平台的整体设计方案中,主要对微细电火花加工平台进行了详细的设计与研究。机械部分主要由立式旋转主轴、步进电机及压电陶瓷伺服进给装置、制作微细工具的反拷系统和X-Y双轴联动工作台构成。电气部分则采用PC机控制下的单片机核心控制系统。研制了用于微细加工的关键技术—宏微复合伺服进给机构,该机构选用步进电机作为宏进给驱动,用压电陶瓷作为微进给驱动,并且步进电机和压电陶瓷采用双闭环复合伺服进给的方案。针对微细电火花加工研制了用模块化方法设计的可实现电极振动式进给的控制系统,针对微细切削加工研制了以PC-6313作为核心控制机的两轴联动控制系统。用Visual C++编写了基于Windows系统的用户界面,并在微细加工机床上进行了加工实验。用微细电火花加工得到50μm的微细孔,用微细钻削加工得到100μm的微细孔,用微细铣削加工得到最小宽度为150μm的沟槽,并取得了不错的加工表面质量。