LTCC一体化成型质量评价及成型规律验证方法研究

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LTCC(Low Temperature Co-Fired Ceramic)集成密度高、射频性能好、数字响应快,并能适应大电流及高温环境,以此作为电子模块基板已成为必然趋势。但LTCC成型工艺复杂,影响成型质量的工艺参数繁多,导致成型次品率较高,为此本文开展了LTCC成型质量评价及成型规律验证方法的系统研究,完成的主要内容如下:(1)基于指标体系理论,进行了成型质量评价指标体系的初建。利用指标筛选和指标结构优化理论,对某天馈系统成型质量评价的初建指标体系进行了简化和优化分析,降低了指标冗余度。同时通过对现有指标权重确定方法的分析,对指标权重的定义奠定了基础。(2)基于粗糙集理论和逼近理想点法,建立了多属性群组决策下专家权重定义的数学模型,并结合指标权重对候选方案进行了排序。为研究专家不确定性偏好信息的表达,引入区间数对多属性群组决策下专家权重定义的数学模型进行了扩展。同时基于夹角余弦和投影法理论,提出了一种更为直接的求解专家权重的新方法,克服了现有方法对专家偏好分辨率不高、求解步骤复杂等不足。(3)通过对现有综合评价方法的优劣及应用范围研究,结合指标体系及专家权重理论,建立了针对LTCC一体化成型质量的综合评价方法,并对射频功能层成型质量进行了实例计算。通过对多种实际LTCC样件的成型质量评价,验证了本文提出的LTCC一体化成型质量评价体系的合理性和有效性。(4)通过对总体方差、置信度和误差范围的综合考虑,系统研究了来自正态分布总体和非正态分布总体下的小样本抽样方法,分别建立了抽样数量计算模型。通过对微通道四种典型缺陷形成规律的验证分析,详细阐述了小样本下的抽样流程和步骤。(5)基于小样本抽样数据、欧式距离测度法和相关系数法,建立了理论值和实测值之间相似度计算模型,并将得到的相似度经高斯分布曲线映射为吻合度,给出了吻合度判断标准。通过对LTCC样件的成型规律验证,证明了本文提出的LTCC成型规律验证体系的合理性和有效性。基于上述研究,本文取得的主要创新点如下:(1)针对现有多属性组决策下专家权重定义方法中专家主观性较大及计算步骤复杂等问题,提出了一种基于粗糙集理论定义专家权重的新方法,并将其扩展到了属性数据为区间数的环境。该方法不仅计算简单,而且减少了评价过程中专家决策信息的丢失,从而更好地体现专家对于不同属性的偏好。(2)基于夹角余弦和投影法,提出了一种定义多属性组决策下专家权重的直接方法。与现有方法相比,该方法对于专家的不确定性偏好信息具有更高的分辨率,更能体现专家不同的知识水平、不同工程经验带来的决策信息的差异。同时由于该方法仅有一个理想决策,大大提高了计算效率。(3)通过对现有小样本抽样方法的理论分析,对样本来自正态分布总体和非正态分布总体,提出了在不同置信度和不同误差范围下计算小样本抽样样本数量的方法,并将其与切比雪夫法进行了对比,体现出该方法的优势。结合LTCC成型中常见缺陷形成规律在样件上的实例验证,体现了小样本抽样方法的通用性和有效性。
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