随着社会的发展和科技的进步,人类的研究范围逐渐进入微观领域。微定位技术的研究进展直接决定了微观领域的发展水平,因此开展微纳米定位技术研究,可以有效地推动集成电路、航空航天、生物医疗、精密装配和特种加工等科技领域的不断进步。目前主流的微定位技术是利用柔性定位平台结合伺服控制系统来实现,因此微定位技术的进步依赖柔性定位平台的结构设计和伺服控制技术的研究。本文根据微定位伺服系统要求实现的性能指标,在实验室已有的研究成果—柔顺精密二自由度定位平台的基础上,为其设计了配套的伺服控制系统。首先介绍了柔顺精密定位平台的设计原则和工作原理,并对其主要构成模块进行静力学分析,对平台的单自由度运动进行动力学建模,然后完成定位平台的材料选取、样机加工和固有频率测试实验。其次,为微定位平台设计切实可行的闭环控制方案,对控制系统中的关键设备进行选型,并根据音圈电机的工作原理对其进行数学建模。再则,为微定位伺服控制系统设计合适的解耦控制策略,分析传统PID控制算法存在的不足并结合微定位平台的控制要求提出改进措施,对改进后的控制算法进行仿真验证并说明其在LabVIEW中的实现方式。最后,分析了随机噪声对伺服系统的影响,为微定位伺服控制系统设计了完整的接线及接地方案,并在此基础上,通过过采样均值滤波方法进一步降低系统噪声,完成了微定位平台的阶跃响应实验、位移分辨率实验及双轴联动实验。