【摘 要】
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近年来,随着基础研究和加工制造技术的不断进步,微系统技术(微光机电一体化系统MOEMS)的研究得到迅猛的发展,这是一项多学科交叉的、蕴藏着巨大应用潜力的高新技术,受到学术
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近年来,随着基础研究和加工制造技术的不断进步,微系统技术(微光机电一体化系统MOEMS)的研究得到迅猛的发展,这是一项多学科交叉的、蕴藏着巨大应用潜力的高新技术,受到学术界和政府部门的高度重视.微系统技术在生物医学领域的应用是其发展的主要推动力之一,并越来越展示出其诱人的应用前景.该论文瞄准这一动向并结合国家教育部重点基金的资助课题"生物大分子和血细胞检测用微系统技术的基础研究",在充分分析比较国内外研究现状的基础上创造性地提出了基于衍射微透镜微型光电放大成像检测方法.该系统具有光纤共焦扫描成像显微镜的优点,有望在系统微型化同时达到较高的分辨率.作者从系统的整体结构、照明光重点以成像元件--衍射微镜为突破口,详细分析了微透镜的成像特性、设计理论和数值评价方法.并根据协作单位的设备条件和加工能力,优化设计了微透镜的结构参数,精选了制作工艺方案,成功地制作出微透镜样品,完成了其主要性能的初步测试,取得了一系列的成果,为整个微型光电成像系统的实现奠定了坚实的基础.
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