【摘 要】
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该论文主要阐述了与CMOS电路集成的硅压力传感器的设计与工艺研究.在CMOS与压阻工艺的基础上提出了集成化的工艺流程.该文首先阐述了硅压力传感器的设计,模拟与制造.然后又介
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该论文主要阐述了与CMOS电路集成的硅压力传感器的设计与工艺研究.在CMOS与压阻工艺的基础上提出了集成化的工艺流程.该文首先阐述了硅压力传感器的设计,模拟与制造.然后又介绍了CMOS电路的设计与模拟,其中包括基本CMOS晶体管的工作原理,各种CMOS运放及具有温度补偿作用的带隙电压源的介绍与设计和最终的模拟结果.接着介绍了CMOS制造工艺和压敏电阻制造工艺及工艺模拟结果,并在前两个工艺的基础上提出了集成化的工艺流程,同时讨论了两个工艺间的相互影响及解决方案.最后论文分别给出了CMOS电路与压力传感器的实际测试结果和分析.
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