本论文的主要工作是在北京同步辐射装置上搭建了GISAXS测量系统，并利用该系统建立了GISAXS实验方法，系统地研究了如何通过GISAXS方法测得样品中量子点或纳米颗粒的形状、尺寸和分布等微结构信息。　　 首先，我们通过在北京同步辐射漫散射实验站的五圆衍射仪基础上安装探测器装置，搭建了GISAXS装置。随后我们采用GISAXS方法测量了三种锗硅量子点样品：不同生长条件制备的样品，不同覆盖厚度的样品和多层锗硅量子点样品；通过对实验数据的模拟和分析，获得了量子点的形状，尺寸和分布。　　 我们分别对具有不同形状(金字塔型和圆屋顶型)的和具有不同密度分布的锗硅量子点进行了GISAXS测量，对实验数据的分析拟合结果与AFM观测结果相一致，表明GISAXS可以有效获得样品表面量子点的形状、尺寸和颗粒分布信息。　　 对具有不同覆盖厚度的锗硅量子点，GISAXS测量结果显示，由不同覆盖厚度引起的锗硅量子点形貌的变化在GISAXS测量结果中得到了明显的体现。　　 对不同的多层锗硅量子点，GISAXS方法不但可以给出面内量子点的形状、尺寸和分布信息，而且还可以提供层间分布信息。　　 本论文还从理论上分析讨论了不同的微结构参数对GISAXS实验结果的影响，并对比其他测量方法讨论了GISAXS特点、优点和局限性。由于具有其他测量手段不具备的优点，GISAXS在微电子工业以及纳米产业生产中具有重要的应用前景。