【摘 要】
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微机械陀螺仪与传统陀螺仪相比具有体积小、易量产、成本低等特点,在汽车导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。微机械陀螺仪的芯片加工是其核心,因此研究陀螺仪
【出 处】
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华北电力大学(北京) 华北电力大学
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微机械陀螺仪与传统陀螺仪相比具有体积小、易量产、成本低等特点,在汽车导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。微机械陀螺仪的芯片加工是其核心,因此研究陀螺仪的芯片设计和加工工艺具有非常重要的意义。本论文研究了一种电磁式振动环微陀螺仪的结构设计与工艺实现。首先分析了电磁式陀螺仪的工作原理,提出电磁式振动环微机械陀螺仪的具体结构形式。通过有限元方法对陀螺仪进行了模态分析、抗高过载分析、电刚度分析、Coriolis效应分析,确定了其结构参数。然后介绍了陀螺仪加工所涉及的主要MEMS工艺,并对加工流程和工艺进行研究,设计了整套加工流程并确定了工艺参数。最后对陀螺仪芯片进行了性能测试。这些研究成果为电磁式振动环微机械陀螺仪芯片的完善提供了一些设计和加工经验。
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