【摘 要】
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半导体激光器具有体积小,重量轻,效率高,寿命长等诸多优点,在国民经济的方方面面起着越来越重要的作用。大功率激光器阵列的重要应用是泵浦固体激光器。要满足当前的泵浦要求,高占
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半导体激光器具有体积小,重量轻,效率高,寿命长等诸多优点,在国民经济的方方面面起着越来越重要的作用。大功率激光器阵列的重要应用是泵浦固体激光器。要满足当前的泵浦要求,高占空比大功率激光器阵列是必需的泵浦源。为适应国防、工业等的现代化建设,国内半导体激光器泵浦固体激光器(DPLSS)技术迅速发展起来。加大力度发展大功率激光器,对于经济建设的飞速发展,国防建设的现代化,以及人民生活水平的提高都有着重要的意义。 在本文中,首先从基本的物理概念出发,对大功率激光器中热损耗机理进行分析,得到了大功率激光器阵列中的热源和大功率激光器的温度特性。接着分析激光器阵列中热的传导,简单的模拟工作工程中瞬态温度的变化。然后通过有限元分析法,建立二维温态分布,得到稳态工作时,大功率激光器阵列中芯片和载体的温度的空间分布。最后,通过实验测定激光器阵列有源区的温升,得到与理论计算基本一致的实验数据,并且对温度的数值计算做了进一步的讨论。 在激光器阵列的设计过程中,针对大功率激光器严重的产热问题,尤其是高占空比工作时,会有更多的功率转化为热的现象,我们改进芯片材料的配比、掺杂,提出适应高占空比工作的器件版图结构。为使工作过程中产生的热能及时迅速的传出,根据大功率激光器阵列热功率的分布,精心设计了高效的水冷器。通过对该项目进行研究,解决高占空比大功率半导体激光器阵列材料生长、管芯制作、器件制作等工艺难点,掌握高占空比大功率半导体激光器阵列的制作关键技术,将激光器工作的脉冲占空比提高到20%,以适应泵浦Nd:YAG固体激光器的要求。激光器样品的各项参数测试包括峰值功率、阈值电流密度、光电转换效率、波长和光谱半宽、光束发散角等达到预期指标。
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