半导体激光器具有工作可靠性高的优点,在工业、通信等领域占据重要地位。随着半导体技术的更新,半导体激光器的性能也更加优越。半导体激光器的高输出功率密度和谐振腔的光热吸收使得腔面发生光学灾变性损伤。本文介绍了半导体激光器的工作原理以及半导体激光器腔面损伤和腔面膜的研究现状,通过在半导体激光器的腔面镀制光学薄膜,提高了半导体激光器腔面的光学性能。光学薄膜不仅可以防止腔面损伤,还能提高激光的使用效率,合理的镀制光学薄膜对半导体激光器的发展具有重要意义。本文主要研究半导体激光器腔面的损伤缺陷与谐振腔镀膜,进行了腔面损伤分析和腔面膜温度特性研究,主要研究内容有以下几个方面:（1）从半导体激光器的损伤机理出发,对半导体激光器腔面损伤缺陷进行分类,分别建立了球体缺陷模型和长方体缺陷模型,分析了半导体激光器腔面不同缺陷形状和结构参数对光强的影响规律。不同类型和尺寸的缺陷引起不同的光强增强,以光强增强为桥梁,通过建立缺陷表面光强分布,分析了微缺陷与光强增大倍数之间的关系,结果发现,缺陷尺寸与半导体激光器波长近似时光强增大倍数最大,球体缺陷比长方体缺陷更能使光强增强。（2）从光学薄膜的增透膜和高反膜的原理出发,选取了合适的膜系材料,根据半导体激光器腔面对反射率规格的不同要求,分别对激光器的前腔面和后腔面涂覆不同材料的薄膜。在前腔面薄膜的设计中,单层膜的材料是Al2O3,双层膜采用Al2O3和Si O2的组合,多层膜是双层膜组合的叠加;在后腔面薄膜的设计中,为了提高光的反射率,高反膜设计了Ti O2和Si O2组合叠加的多层膜。为了解决激光器腔面的光学灾难性损伤问题,对薄膜的稳态温度场和瞬态温度场进行研究,在稳态中,分析了温度随薄膜厚度的变化规律。随着膜层数量的增多,薄膜的温度不断升高。在同种薄膜结构中,膜层之间均匀吸收热量,温度在膜层间分布均匀且变化梯度小;在薄膜温度场瞬态分析中,薄膜温度随着时间的增加而增大,由于膜层间具有良好的散热性,在数秒内温度会趋于稳定。对于增透膜和高反膜,最后综合考量温度、应力和反射率需求,选取6层薄膜镀制在激光器前腔面,9层薄膜镀制在激光器后腔面。