本文就移相全桥软开关高频高压交流电源的结构、基本工作原理进行了分析，研制了一台输出功率为5kW，输出电压为20kV，频率为25kHz的高频高压交流电源。目前为止，高频高压电源主电路结构多采用PWM硬开关控制方式，功率开关器件在开关瞬间承受大的电流应力和电压应力，其开通和关断过程损耗较大，从而使高频高压交流电源的效率下降。本文采用移相式软开关技术，以现代电力电子器件IGBT作为功率开管器件，应用PWM控制技术，设计了新型高频高压交流电源来解决现行电源的能量损耗问题。本文给出了移相全桥PWM交流电源主电路拓扑，对移相全桥软开关高频交流电源的逆变环节做了详细的研究，介绍了IGBT的结构原理，特性和开关过程，选用日本富士公司的EXB841快速型IGBT专用驱动模块来驱动IGBT，根据变压器的设计原则给出了逆变器的变压器原副边匝数，通过仿真分析确定了输出滤波电路各元器件的参数。移相脉冲的产生采用ML4818专用移相控制芯片，主电路控制器选用专用于PWM移相变换的新型控制芯片UCC3895，给出了控制器的软启动方法，分析了全桥逆变器的两种控制方法，结合高频高压交流电源的性能要求选用单极性移相控制方法，实现了周波变换器的ZVS开关。根据分析采用Pspice软件对开关电源控制器设计及逆变器主电路进行了仿真，给出了逆变器输出电压波形及主功率管消耗功率波形图，并分析了能量损耗的来源，验证了软开关技术在高频高压交流电源中应用的优越性。初步实验结果证明本文研制的电源达到了设计要求。