Al2O3陶瓷表面铜金属化的研究

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本论文采用电化学沉积法在不同pH值条件预先在Cu箔表面沉积制备一层Cu2O薄膜,随后将Cu箔具有Cu2O一侧与Al2O3陶瓷紧密结合,并在N2氛围下加热至1075℃,实现Al2O3陶瓷表面覆Cu金属化。研究分析了Cu2O薄膜微观形貌及Cu/Al2O3结合强度的影响因素。结果表明:⑴当电沉积溶液pH值在9-12之间变化时,Cu2O薄膜的微观形貌随之发生变化。溶液pH通过影响Cu2O晶粒的择优取向让晶粒尺寸从相对较小、较致密均匀的四面体转变为三棱柱,及晶粒尺寸较大、不规则的三面体;且Cu2O薄膜的微观形貌会影响Cu2O/Cu的结合强度。当溶液pH值为9、11、12时,Cu2O/Cu的结合强度从4950mN下降到4712 m N、3935m N。⑵电流密度的改变会影响Cu2O晶粒的择优取向,但相对于pH值影响较小;电流密度增大可以提高电沉积反应速率,但此时的Cu2O薄膜中有单质Cu杂质生成;Cu2O薄膜主要以岛状方式生长,电沉积时间越长,Cu2O薄膜越厚,薄膜表面越均匀连续。但Cu2O薄膜过厚会影响Cu2O/Cu的结合强度。⑶随着电沉积制备Cu2O薄膜溶液的pH值增大,DBC共晶反应后Cu/Al2O3的结合强度降低。主要原因:(1)电沉积制备Cu2O薄膜时,溶液的pH值会影响Cu2O/Cu的结合强度,随着电解液的pH值增大,Cu2O/Cu的结合强度逐渐降低。Cu2O/Cu的结合强度会间接影响Cu/Al2O3的结合强度;(2)当电沉积溶液pH值增大时,Cu2O薄膜的微观形貌变的不均匀致密,Cu/Al2O3界面的空隙增大,在DBC过程中N2或O2滞留在空隙中形成界面孔洞。空隙越大,Cu/Al2O3界面孔洞的数量及直径将会增加,即Cu/Al2O3界面的实际结合面积随着pH增大而减小,结合面积的减小必然降低Cu/Al2O3的结合强度。⑷Cu/Al2O3界面无规则的小孔洞主要是由于共晶反应完成后还有大量剩余的Cu2O颗粒滞留在Cu/Al2O3界面层而形成的;而规则球形大孔洞主要为共晶反应中引入的保护气体如N2、Ar以及在高温、低氧分压条件下Cu2O分解产生O2而形成;针对界面孔洞产生的原因,提出了一种减少界面孔洞的工艺。⑸将热氧化法和电沉积法制备的Cu2O/Cu与Al2O3基板共晶结合,后者的结合强度更大。⑹DBC共晶反应产物生成速度极其缓慢。当保温时间较短时,Cu/Al2O3界面反应产物主要为CuAlO2、CuAl2O4的混合物,且界面无明显的结合层;将保温时间延长至7h时,界面只存在CuAlO2相,CuAl2O4相几乎消失,但界面可观察到1μm左右不连续的结合层产物。
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