连续位相板是高功率系统中重要的衍射型光学元件,能实现远场焦斑的均匀调制,常用于光束的整形。大气等离子体加工技术加工分辨率高且加工成本相对较低,在光学加工领域具有巨大潜力。然而,由于连续位相板具有尺寸大、周期小、梯度大等复杂的相位特征,现阶段单次的加工并不能满足连续位相板的精度要求,同时连续位相板高精度的检测一直是光学检测中的技术难点。因此,针对上述问题,本文开展基于大气等离子体加工技术的连续位相板迭代加工工艺的相关研究,结合理论与实验验证,以高效高精度的检测和加工为核心,为连续位相板的加工修形提供技术支撑。基于子孔径拼接技术,根据位相板面形分布特点及对横向定位误差的敏感性,将空间六自由度算法应用于连续位相板的拼接检测,弥补传统平面拼接算法的不足。建立了拼接算法的数学模型,并结合误差均化思想实现多孔径同步拼接,减小了误差累积。通过仿真分析了拼接算法的精度,评估了算法在连续位相板实际加工中的准确性。针对连续位相板拼接检测需求,设计并搭建完成拼接干涉检测系统机械装置。然后进行拼接检测试验,分析系统检测误差及拼接误差,明确孔径检测重现性为误差的主要来源。根据误差的主要形式,在机械装置和数据检测两个方面提出检测方法优化,进一步减少检测误差影响,提高了检测精度。在此基础上,开展连续位相板的拼接检测实验,验证了拼接检测技术的精度和实用性。根据大气等离子体加工流程,进行连续位相板迭代加工预实验,针对单一去除函数修形能力的局限性,进行去除函数尺寸选择;兼顾高精度及高效的加工需求,基于熵权法,建立了迭代加工中去除函数的评价准则,优选出迭代加工中的去除函数参数;形成系统的迭代加工工艺流程,开展连续位相板迭代加工实验验证,实现了尺寸100×100×3 mm~3的连续位相板高精度、高效修形。