旋转梳齿驱动器是MEMS静电驱动中常用的重要部件。现有的典型旋转梳齿驱动结构有三个自由度，其中横向自由度对驱动器的性能影响较大，导致旋转角度偏小、响应非线性化严重。双间隙旋转梳齿驱动结构减小了横向位移，使旋转角度和响应线性化有所改善，但是，由于减小了电容变化率，导致驱动电压较大。并且双间隙旋转梳齿驱动结构采用齿根变薄的方法，降低了齿的弹性系数，使动齿和固齿容易接触短路。 　　针对已有旋转梳齿驱动结构的缺陷，结合MEMS标准化的要求，设计了一种新型对称旋转梳齿驱动器。由于采用对称结构，消除了横向位移和纵向位移，结构只有一个旋转自由度，较好地改善了旋转梳齿驱动结构的性能，具有旋转角度大、驱动电压小以及响应线性化等优点。同时，该结构可进一步扩展为应用于不同场合的模块化系列化的结构，利于标准化。 　　通过分析旋转梳齿驱动结构，提出MEMS旋转梳齿驱动结构的标准化需要重点考虑和解决的几个问题，即：模块化系列化的结构、大的旋转角度、小的驱动电压和线性化响应。