【摘 要】
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用于波分复用(WDM)系统的波长选择性的光探测器需要具有高速、高量子效率、窄光谱线宽、长波长可调谐、平顶陡边等特性。这一高性能光探测器集成了滤波器和光探测器,是WDM全
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用于波分复用(WDM)系统的波长选择性的光探测器需要具有高速、高量子效率、窄光谱线宽、长波长可调谐、平顶陡边等特性。这一高性能光探测器集成了滤波器和光探测器,是WDM全光网络的关键器件之一。本论文主要围绕这种光探测器的研制和测试开展,取得了以下研究成果:1、参与制备了GaAs-DBRs/InP-PD光探测器。该光探测器集成了波长选择器件和p-i-n光探测器件。以GaAs/AlGaAs DBRs作为反射镜组成法布里一珀罗(F-P)谐振腔。制备过程主要包括光刻、掩膜、刻蚀、剥离、钝化、金属电极制备等工艺。用到的工艺设备主要有光刻机、匀胶机、等离子去胶机、磁控溅射设备等。2、研究了光谱响应和高速响应的测试方法并对制作出的GaAs-DBRs/InP-PD光探测器进行了测试。测试结果表明,器件的峰值波长为1576.3nm,最大量子效率为34.5%,最大响应度为0.44A/W,光谱响应线宽为1.7nm,3dB带宽为12.8GHz。3、研究了电路控制法实现光探测器的平顶陡边光谱响应的原理,设计了实现的结构,并对该结构进行了仿真。在结构中,使用了三个具有波长选择性的且中心波长不同的光探测器,并使用了前置放大器、电压比较器和逻辑门电路对三路光探测器的输出进行控制处理。使用OptiSystem进行仿真,支持了这种结构。4、设计并制作了电路,用以实现电路控制法。根据电控法的设计结构及仿真参数,针对系统中的各部分,选用了适当的集成电路芯片。设计并制作了PCB电路板。
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