非制冷红外探测器锗窗口低漏率封接工艺研究

被引量 : 2次 | 上传用户:XIAOXIAOFSF
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
非制冷红外探测器本质上是一种MOEMS器件,根据探测器工作的物理机制,红外焦平面需要工作在真空环境下,以提高器件性能;同时为了保证器件的工作寿命,对探测器需要采用高气密封装。锗窗与探测器合金盖帽的封接是非制冷红外探测器封装工艺的关键步骤之一,是进行后续气密性封装步骤以及实现整体真空封装的前提条件。所以该部分的封接质量直接影响了探测器的真空寿命和长期可靠性。因此,本文基于真空钎焊的基本理论和工艺方法,对锗窗口与探测器盖帽的低漏率封接工艺进行了研究,具体内容及创新点如下:1.运用有限元数值模拟的方法,利用专业仿真软件ANSYS,建立锗窗口和探测器外壳进行真空钎焊的有限元模型,对真空钎焊过程进行仿真分析,具体对真空钎焊过程中的焊件的温度场和应力应变场进行求解。由仿真分析的结果指导实际工艺中的一些关键问题:加热方式的选择、控制参数的设置等。2.基于实验室现有的真空钎焊封装设备,设计了锗窗口真空钎焊的工艺流程,并利用正交试验法进行了工艺实践。对工艺实践的结果运用可靠性试验的相关方法进行了分析和评价。通过对焊接结合部的微观结构的分析,对Au/Ni/Au镀层在焊接过程中的特性进行了分析和总结,对焊接结合界面上金属间化合物的形成和演变规律及其对焊接质量影响进行了讨论,并得到相应的结论。3.对采用金锡焊料进行真空钎焊时出现的缺陷进行了归纳总结,制定了相应的解决办法。通过改进后的工艺,获得了实现锗窗口与探测器盖帽封接的较优工艺参数,使得锗窗口与探测器盖帽封接成品的漏气率达到气密封装器件的漏率要求,保证了器件寿命。
其他文献
设计制备了一定规格的青铜胎块试样,在不同工艺条件下进行压制烧结。利用X射线衍射分析技术、背散射电子图像技术、X射线能谱分析技术对试样的微观组织结构进行了测试和分析;
改革开放以来,随着经济的发展和生活水平的提高,各种服务行业飞速发展,其中娱乐业的发展更为迅速,城市中娱乐场所大量涌现。在繁荣各地经济的同时,娱乐场所的治安、消防等安全问题
介绍了近年来微波辅助技术制备纳米氧化锌的方法,重点综述了合成的纳米氧化锌的微观形貌、抗菌特性、光致发光性能、吸附性能以及光催化性能方面的研究概况,提出了微波辅助制备
染料敏化太阳能电池因其低廉的制作成本,简单的工艺以及稳定的性质,逐渐成为人们重视的一种新型太阳能电池。作为染料敏化太阳能电池的重要组成部分,光阳极与对电极性能的好坏对
目的:探讨辛伐他汀对急性冠脉综合征(ACS)患者血清高敏C反应蛋白(hs-CRP)及妊娠相关血浆蛋白-A(PAPP-A)水平的影响。方法:86例ACS患者随机分为观察组(n=43)与对照组(n=43),对
海南具有得天独厚的自然条件,是世界上最适合人类居住的地区之一,也是久负盛名的旅游胜地。一直以来,海南房地产因其具有投资增长较快、岛外购房为主导等特征且曾在上个世纪
通信产业正在进入移动互联网时代。移动互联网的迅猛发展,给通信业的产业生态链带来巨大的变革,对电信运营商的传统商业模式带来巨大挑战。在移动互联网时代,电信运营商进一步被
本文中结合加速试验技术和道路模拟试验技术,提出了基于时频域损伤等效和远程参数控制的双离合器自动变速器(DCT)关键零部件道路模拟加速可靠性试验方法。首先通过在襄樊汽车试
<正> 被称为"烟草大王"的褚时健,竟然是个大号贪污犯,直愣愣地栽在了"红塔山"下。这位被无数光环笼罩过的人物,曾经是那么左右逢源、意得志满,他怎么也不会想到,让他原形毕露
随着互联网信息技术的不断发展,第三代移动通信技术的不断普及,使得智能手机得到普遍的使用,各大智能手机操作系统商为了广泛的赢得市场,给智能手机用户提供了更多更广的应用程序