【摘 要】
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社会的发展和科技的进步对光电探测器的性能不断提出新的要求,例如高灵敏、快响应、低功耗和宽光谱等。为了满足这些要求,科研人员需要不断地寻找新的光电响应材料、构造新的器件结构和开发新的工艺技术。本论文基于碳纳米管和还原氧化石墨烯这两种具有宽谱光电探测能力的碳基薄膜上,制备并研究了“铯钨青铜纳米片修饰碳纳米管薄膜”和“金属/悬空还原氧化石墨烯薄膜/金属”两种薄膜型光电探测器的性能。(1)提出使用具有强红
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社会的发展和科技的进步对光电探测器的性能不断提出新的要求,例如高灵敏、快响应、低功耗和宽光谱等。为了满足这些要求,科研人员需要不断地寻找新的光电响应材料、构造新的器件结构和开发新的工艺技术。本论文基于碳纳米管和还原氧化石墨烯这两种具有宽谱光电探测能力的碳基薄膜上,制备并研究了“铯钨青铜纳米片修饰碳纳米管薄膜”和“金属/悬空还原氧化石墨烯薄膜/金属”两种薄膜型光电探测器的性能。(1)提出使用具有强红外吸收能力、高光热转换效率以及瞬时光热转换动态特性的铯钨青铜纳米片修饰碳纳米管薄膜,制备了“铯钨青铜纳米片修饰碳纳米管薄膜”光电探测器,其性能与纯碳纳米管薄膜探测器相比,显示出了从可见光(405nm)到短波红外区域(1550 nm)宽谱光响应的显著增强。其响应度最高达了99.65m A/W,平均提高了400%;比探测率最高达了1.69×10~7 Jones,平均提高了549%;响应时间为28 ms,提高了30%。研究结果表明,铯钨青铜纳米材料修饰碳纳米管薄膜后,可以显著提高光电探测器的性能。(2)制备了“金属/悬空还原氧化石墨烯薄膜/金属”光电探测器,并研究了其沟道宽度、金属种类对光电探测器性能的影响。首先,制备并分析了电极沟道宽度分别为100μm和500μm的“Au-悬空还原氧化石墨烯薄膜-Au”探测器在不同波长光照下的光电响应性能。研究结果表明,两种探测器均可实现对紫外(375 nm)至短波红外(1550 nm)的宽谱光探测,短沟道可进一步提高光探测性能。然后,通过改变探测器电极的金属种类,选用具有不同功函数的金属与还原氧化石墨烯薄膜接触,成功制备了自供电型“Pd-悬空还原氧化石墨烯薄膜-Ti”光电探测器,实现了从紫外(375 nm)至短波红外(1550 nm)的宽谱光探测。本论文为基于碳基薄膜光电探测器的发展提供了新思路,加深了对碳基材料与其他材料结合后探测器性能的认识。并且有望通过优化器件结构和参数,进一步提高器件的灵敏度、光谱响应范围、响应速度等多方面性能,为后续的实用化奠定基础。
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