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本文首先简要介绍了微电子机械系统的各种模型，前人已做的工作，发展前景等背景知识以及本文的主要结论.
其次研究了静电开关动态响应中不含阻尼项的达芬系统，得到周期解的存在条件和非周期解的存在条件.
再次研究了静电开关动态响应中含阻尼项却不含非线性劲度的方程，得到局部解的存在性，整体解的存在条件和平衡解的稳定性.