科技的进步使现代工业产品向高精度、高速度、高温、高压、大功率、小型化方向发展,对产品微型化要求日益迫切。微细特种加工方法是实现小型化、微型化的技术基础,它决定机械产品的加工精度和表面质量,成为衡量一个国家制造业整体水平的重要标志之一。电解加工具有实现精密微细加工的理论空间。本文概述了微细加工技术研究应用现状,分析了微细电解加工及超声电解复合微细加工技术的国内外研究现状。将超声振动引入微细电解加工中形成超声辅助电解微细加工是一个很有应用前景的研究课题,进而提出本文研究工作内容。基于电解加工的原理,阐述了如何通过工艺措施提高电解加工的加工精度和表面质量,分析了超声辅助电解加工将超声频振动引入到高频脉冲电解加工中,实现小间隙加工,改善加工环境,提高加工质量的技术基础和优势；分析了超声辅助电解加工的原理；通过超声辅助电解加工间隙特性的数学模型,分析了超声辅助电解加工提高电解加工精度和表面质量的根本原因；分别从加工精度、表面粗糙度、加工效率三个方面,分析了电参数(电压、电导率、脉冲特性)对超声辅助电解加工加工工艺指标的影响。构建并完善超声辅助电解加工加工系统,超声发生器保证整个系统在加工过程中处于共振状态,使超声振动始终保持共振的最大振幅；采用可调节磁悬浮张力的进给机构,可保持工具与工件间的恒定微压力；工作台可实现X、Y方向上的移动,可适应不同大小及位置微器件的加工；并用位移比较法实现超声频振动与脉冲电流的复合同步。设计了研究超声辅助电解加工加工机理的试验方法；设计并制作了试验所需的工具阴极,进行加工试验。加工结果试验表明：超声辅助电解加工过程稳定,可有效的实现可控小间隙的低电压、静液加工,提高加工精度和表面质量；采用不同的脉冲电压具有不同的加工效果,需合理选择。电压过小时电解作用微弱,电压幅值过大时,易产生火花放电,烧伤工件,且加工精度和表面质量降低；电解液质量分数(电导率)变大,加工效率提高,加工深度提高,但加工精度及表面质量降低;随着脉冲频率的增大,加工精度和表面质量不断提高；脉宽的增大能够提高加工效率和加工深度,但是工件的加工精度和表面质量有所降低。