【摘 要】
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现代装备制造技术愈来愈向超精密加工方向发展,超精密加工的关键技术瓶颈为如何实现微纳尺度的位移。现阶段的微纳尺度位移大多是基于功能材料的性能实现驱动,但这类微纳驱动方式在实现高精度的同时行程一般都较小。宏微复合机构是现阶段可同时满足高精度和大行程的驱动技术之一,但也同时存在着智能材料固有的非线性等缺点。本课题提出了一种基于全静压结构并同时由丝杠及螺母双驱动的螺旋传动系统,基于静压丝杠螺母副的高承载力
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现代装备制造技术愈来愈向超精密加工方向发展,超精密加工的关键技术瓶颈为如何实现微纳尺度的位移。现阶段的微纳尺度位移大多是基于功能材料的性能实现驱动,但这类微纳驱动方式在实现高精度的同时行程一般都较小。宏微复合机构是现阶段可同时满足高精度和大行程的驱动技术之一,但也同时存在着智能材料固有的非线性等缺点。本课题提出了一种基于全静压结构并同时由丝杠及螺母双驱动的螺旋传动系统,基于静压丝杠螺母副的高承载力和高传动精度,在两驱动副“差动”下合成微纳进给运动。本文以全静压双驱螺旋传动系统为研究对象,基于理论计算模型推导,结合MATLAB、SOLIDWORKS、FLUENT等分析计算软件,从多方面对螺旋传动系统的性能进行了研究,主要研究内容包括:(1)基于螺旋传动系统预期实现的功能,对全静压双驱螺旋传动系统整体的设计方案进行了阐述,同时分析了双驱动型全静压丝杠螺母副的工作机理,提出了螺旋传动系统的平台控制策略及液压站设计方案。(2)基于薄板弯曲理论,分析了由PM流量控制器对静压丝杠螺母副供油的原理;对静压丝杠螺母副的油膜槽的详细设计参数进行了阐述,并建立了静压丝杠螺母副的流量及承载力的计算模型,进而实现了对基于PM流量控制器的静压丝杠螺母副的承载性能分析。(3)基于锥形轴承的工作原理,对双驱动型全静压丝杠螺母副中的螺母轴承的承载力进行了推导分析。对静压螺母轴承的流体建立几何模型,划分网格导入FLUENT流体仿真软件中分析轴承供油压力及转速对其性能的影响。(4)建立了全静压双驱螺旋传动系统各驱动方式下的动力学模型,结合伺服电机模型及摩擦分析,在MATLAB中建立螺旋传动系统的仿真模型,通过仿真验证系统实现大行程、高精度运动的理论可行性。
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