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【摘 要】
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随着现代电子工业技术的飞速发展，光学系统对光学元件的面形质量要求愈加严格，例如极紫外（EUV）投影曝光系统要求其核心光学元件的面形误差均方根值（rms）在0.1nm以内。检测能力制约
【发表日期】
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2014年01期
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