随着对产品表面质量要求的提高和微细加工技术的不断进步,对微表面形貌的测量技术提出了更高的要求,而由于光学测量法具有非接触性、高精度、能够进行全场测量等特点,越来越多的受到研究者的关注。本文在相移显微干涉法实现微表面形貌测量的理论基础上,针对现有的计算相移的方法,采用了一种改进的计算相移的方法,解决了当待测面不是理想平面,其干涉条纹并非平行且间隔均匀的直线簇时,先对光强曲线进行等周期处理,再利用快速傅里叶变换计算相移的问题,并利用获得的相移量来进行形貌的测量。该方法无需压电陶瓷驱动器(PZT)来获取干涉图之间的相移,只需通过调节显微镜微细调焦旋钮上下移动载物台改变被测物体的位置来引入相移。同时,文中以BP212正性光刻胶为牺牲层SU-8胶为结构层,经多次实验探索了微结构加工工艺,制作了悬臂梁结构,将该悬臂梁结构作为待测面,拍摄多幅干涉图,利用本文的计算相移的方法,对相移计算的结果进行了分析,并与Kong-Kim迭代算法的相移计算结果进行了比较,将计算所得相移用已有的四步法或五步法等进行了形貌的测量。在形貌测量的实验中,本文计算相移的方法不仅降低了设备成本,提高了相移计算的简便性,而且该方法计算速度快,测量精度较高,具有较高的使用价值,适合于三维微表面形貌的测量。同时,本文还以MATLAB提供的图形用户界面为平台,设计开发了形貌测量系统的图形化用户界面,在该界面上实现了图像的录入、相移量的提取、四步法形貌的还原和Kong-Kim迭代算法形貌的还原,使得对微结构形貌测量的结果可视化。本测试系统的设计,逻辑结构较为合理、界面友好、操作简单方便,可以使用户轻松的实现界面的交互,具有较好的实用性。