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TiO_2在紫外光下具有优异的光催化性能，在废水处理、空气净化、抗菌等环保领域有着广泛的应用，但实现其可见光催化一直是研究的难点之一。本论文提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO_2薄膜的方法，以实现TiO_2的可见光催化。首先分别向石英玻璃和蓝宝石(α-Al_2O_3单晶)中注入Ti离子，随后在氮气中退火到900℃，从而制备了N掺杂TiO_2薄膜。同时，又将注入态样品在氧气中退火，对比研究了不同基体和不同退火气氛对TiO_2薄膜光学性能的影响。本文采用SRIM 2006模拟程序