微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究

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【摘要】

：

在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构,传统的测量方式无法实现对其深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸进行精确检测。本学位论文在国家高技术研究发展计划(863计划)、国家自然科学基金和新世纪优秀人才支持计划的资助下,研制高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备。针对硅等半导体材料的光学特性,提出基于红外反射模型的微纳

【作者】

：

顾华勇

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2008年05期

【关键词】

：

深沟槽红外光等效介质理论傅立叶变换红外光谱仪

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