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【摘 要】
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飞秒激光加工是一种具有很大发展前景的微纳加工技术。飞秒激光具有低热损伤、可突破衍射极限和三维加工等独特的优势，已在微流体、微光学、微电子和微机械等领域得到广泛研究
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院研究生院 中国科学院大学
【发表日期】
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2012年期
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