研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法：三面互检法和伪剪切法。三面互检法需要三个被测平面，两两组合测量。传统的三面互检法，只能得到两条剖面线上的面形轮廓偏差，本文中采用的两种改进的三面互检法能得到三个面整个波面的三维面形轮廓偏差，它们是Zernike多项式拟合法和奇偶函数法。Zernike多项式拟合法利用Zernike多项式的正交特性对三个平面进行拟合处理，求出三个平面的绝对面形。奇偶函数法根据函数的奇偶特性，将平面面形函数分解为：偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数，再分别求出各项，从而得到三个平面的绝对面形。与三面互检法不同，伪剪切法只需要两个平面，一个作为参考平面，一个作为被测平面，通过分别在水平方向、垂直方向移动被测平面，得到三个干涉波面，对三次测量的波差数据处理得到被测平面的绝对面形分布，同时能求出干涉仪的系统误差。对上述各种方法分别编制了理论模拟和实测程序，并进行了实验，得到了三个平面的绝对面形。