近年来,臭氧作为一种具有极强氧化能力和杀菌能力的无污染强氧化剂,已被广泛应用在与人们生活和生产息息相关的各个行业中。工业上用的大功率臭氧发生器主要采用介质阻挡放电来大量产生臭氧,本文主要研究臭氧发生器的供电电源,与传统的工频直接升压法相比,中高频臭氧发生器电源具有效率高、体积小和低功耗的优点,是臭氧发生器电源的发展方向。论文主要的工作包含如下4个方面：(1)主电路的研究与设计。通过对臭氧发生器容性负载的分析,利用补偿谐振电感构成谐振电路,并通过对串联谐振电路和并联谐振电路两种谐振电路的分析和比较,选择串联谐振电路作为大功率臭氧发生器逆变电源的主电路结构。(2)控制电路电路的研究与设计。通过阻性、感性、容性三种移相PWM控制方式的详细分析,根据所选择的由IGBT构成的串联谐振主电路结构,采用了容性移相PWM控制方式,可以实现IGBT的零电流开关,同时根据臭氧发生器电源谐振频率可能变化的特点,设计了频率跟踪电路,这样能够最大程度的实现开关管的软开关,提高整个电源的效率。(3)电源实际设计。本文给出了电源各部分详细的设计过程,电源系统主要包括：输入整流滤波电路、全桥逆变电路、中频变压器、频率跟踪电路、控制电路、驱动电路、保护电路、辅助电源等。(4)电源仿真分析。利用功能强大的Saber仿真软件对所设计的电源设计进行了仿真分析,充分验证其设计的正确性和可行性。