反应磁控溅射沉积多层TiN/Ti薄膜和梯度TiN薄膜及其耐磨性能研究

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【摘要】

：

钛合金凭借着优良性能逐渐成为牙种植体、骨骼及人工关节等代替物的首选材料。但是钛合金的摩擦系数大,磨损性能差,致使其植入后在外力作用下会因磨损而产生大量碎屑释放到人体组织当中,导致植入失败[1]。为克服Ti合金这些方面的缺陷,采用硬质TiN薄膜涂层改善钛合金表面的耐磨性取得了良好效果。本文采用反应磁控溅射的方法,在Ti6A14V基体上制备了一系列TiN单层薄膜、多层TiN/Ti膜以及成分梯度TiN薄

【作者】

：

曹栋

【机构】

：

东北大学

【发表日期】

：

2015年01期

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