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相移干涉技术是超精密测量及微纳米检测的关键技术之一,也是现代光学测试技术的主要方面。它具有高灵敏度、高精度、非接触性及可实现实时测量等优点。因此,相移干涉技术成为目前国内外学者研究的热点之一。本文主要探讨了相移干涉理论和压电陶瓷传感器(PZT)的逆压电效应原理,并以此为基础,利用光电位置传感器(PSD)实时检测在外加一定驱动电压下PZT的微变位移量,而产生的微位移量又反过来作用于PZT的控制电压,运用PID控制技术设计出了一套集驱动、检测和补偿为一体的闭环控制系统。文中着重阐述了系统