改革开放30年来，外商对华直接投资取得了辉煌的成就。现在中国已经成为国际FDI的主要目的地，连续16年成为吸收外商直接投资最多的发展中国家。外商投资带来了资金、技术、知识、管理技能以及有效配置这些资源的方式，其技术溢出效应已被广泛的研究和实践所证实。但外商在华投资的运营效率，特别是从区域角度的评估鲜有研究。　　 本文选取28个制造业2005-2007年的区域、行业数据，分别采用工业总产值、工业增加值和利润作为产出变量，使用DEA方法分别从区域、行业角度上对比分析了内外资整体技术效率。同时按技术效率有效、低效和无效的划分，分别对区域和行业外资进行了截面和历史趋势分析。结果表明，省份和行业内、外资技术效率整体上随时间呈现下降；行业和区域角度上，内资和外资企业，盈利能力弱、盈利能力低，但外资企业的利润作衡量的技术效率显著大于内资企业，盈利能力整体强于内资企业。同时，本文发现纯技术效率PTE低下是造成多数省份外资技术效率较低的主要原因。以此为基础，本文认为提高外资企业整体的纯技术效率水平是根本渠道；提高产品增加值、改善微观运营环境、提高盈利能力是外资企业提高技术效率的方向；政府在招商引资决策中应因地制宜、有选择地吸引外资，提高投资的软硬件环境和投资后服务水平。