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硬盘磁头气垫面曲面截距是硬盘磁头加工中最重要的机械参数。磨削加工硬盘磁头气垫面的纵向和横向曲面截距的方法可以嵌入已有的精磨工序中,不须增加工序和投资;同一磁头条的加工一致性较好。磨削加工的方法在大规模生产中可实现稳定的品质和低成本要求;因此,此加工方法在大规模生产中具有很大的竞争优势。 已有的硬盘磁头气垫面精磨工艺和球面研磨工艺方法及残余应力差成形工艺法相结合加工出了磁头气垫面曲面截距。在成形过程中这三者扮演了不同的角色。本文对这三者作了以下研究: 由于加工表面的残余应力在硬盘磁头气垫面曲面截距加工中起着重要的作用。本文首先基于脆性材料的压痕断裂力学理论对磁头精磨工艺的去除机理进行了分析,得出了小残余应力的工艺临界条件;然后结合薄膜润滑理论对该工艺条件的实现作了分析研究。 通过对球面磨削纵向曲面截距加工原理的分析,结合生产实践建立了球面磨削纵向曲面截距的经验公式;并根据经验公式对加工系统中各主要因素作了试验验证和量化。 磁头横向曲面截距的加工则利用了对同一工艺位置先后施加不同的机械应力从而引起不同的变形量来加工横向曲面截距。在对此加工方法机理分析的基础上,通过试验得出了成型的工艺规律。