在实验室原复合离子注入机监控系统基础上，配合当前实验和生产的需要，并针对原系统设计和运行中出现的问题，对原监控系统进行了改进和升级。 论文首先对原监控系统进行了分析和介绍，给出了复合离子注入机的控制系统构架 ，然后着重介绍了在硬件上对系统进行的改进和升级。主要包括重新设计磁控溅射靶，增加可加热靶台，改进热电偶温度传感器设计，改进靶自转设计等。 为配合系统在硬件系统方面所做的改进和升级，对PLC控制部分也做了相应的修改和完善。论文首先介绍了由于新增和改进功能而对PLC模块进行的升级和输入输出点的重新分配。然后论文介绍了针对新增和改进功能对PLC控制程序所进行的修改和完善。 由于原上位机画面监控系统的不开放性，不能对其进行二次开发。为满足系统所进行的升级和改造需求，运用工控组态软件——组态王设计了全新的上位机画面监控系统。在实现原上位机画面监控功能的基础上，还增加了和改进了部分监控功能，并使监控系统更加易于管理和实现。 为在以后使用过程中更好地对出现的问题进行解决，论文还对复合离子注入机系统的不稳定性进行了分析。然后对原复合离子注入机系统已经出现的问题进行了原因方面的研究，并在对系统改进和升级时进行了修复。 改进和升级后的复合离子注入机系统具有技术先进性和功能多样性，不仅可根据实验要求分别进行气体离子注入、金属离子注入、双元混合注入、磁控离子注入增强沉积成膜等多种工艺，而且还能应用于工业性生产。