【摘 要】
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微对象转移操作是微器件装配、微对象测试的关键环节之一。在微对象转移操作中，由于操作对象尺寸微小且结构脆弱，当采用常规微夹持工具进行拾取时容易受到夹持工具的损坏。进行微对象释放时，在起主导作用的粘着力影响下，难以依靠重力实现可靠释放。因此研究具有无损拾取、可靠释放特性的微对象转移工具具有重要意义。本文设计了一种液滴操控型微对象转移工具，利用液体弯月面与微对象接触后形成的液桥来拾取微对象，通过精确控制
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微对象转移操作是微器件装配、微对象测试的关键环节之一。在微对象转移操作中，由于操作对象尺寸微小且结构脆弱，当采用常规微夹持工具进行拾取时容易受到夹持工具的损坏。进行微对象释放时，在起主导作用的粘着力影响下，难以依靠重力实现可靠释放。因此研究具有无损拾取、可靠释放特性的微对象转移工具具有重要意义。本文设计了一种液滴操控型微对象转移工具，利用液体弯月面与微对象接触后形成的液桥来拾取微对象，通过精确控制单个微液滴的形成来释放微对象。由于液体介质的柔顺变形，微对象拾取过程中不会产生应力集中现象，从而
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