【摘 要】
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该文对机床隔振技术在超精密加工中的应用进行了比较分析,对无源隔振台的时域特性、频域特性及绝对传递系数进行了测试分析,并分析了有源隔振理论,确定了加速度反馈和速度反
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该文对机床隔振技术在超精密加工中的应用进行了比较分析,对无源隔振台的时域特性、频域特性及绝对传递系数进行了测试分析,并分析了有源隔振理论,确定了加速度反馈和速度反馈控制方案,在原超精密机床无源隔振系统的基础上采用了有源隔振技术,建立了超精密机床垂直方向有源隔振系统.为探讨该有源隔振台的有效性和适用性,同样对其时域特性、频域特性及绝对传递系数进行了测试.通过与无源隔振台对比,证明有源隔振改善了隔振台的振动情况和隔振效果.
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