【摘 要】
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该文基于循环光学模型,计算了各种非理想软X射线光学多层膜的镜向反射率,发现调制周期和层厚比对Bragg峰的角位置有明显的影响,而界面粗糙和界面成份扩散则会使反射曲线产生
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该文基于循环光学模型,计算了各种非理想软X射线光学多层膜的镜向反射率,发现调制周期和层厚比对Bragg峰的角位置有明显的影响,而界面粗糙和界面成份扩散则会使反射曲线产生不同的强度分布,因此通过对反射率曲线的拟合可以计算出多层膜的调制周期、层厚比和界面粗糙度等参数.但由于计算模型中采用了大量近似,因而对平均折射率和层厚比的计算会产生较大的误差.当界面粗糙和界面成份扩散同时存在时,两者对多层膜镜向反射率的影响难以区分.计算结果表明,只考虑其中一种非理想因素的处理方法并不能反映多层膜的真实情况.我们采和I. Page的计算模型,考虑界面粗糙和界面扩散对掠入射X光反射率的共同作用,得到了较好的结果.
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