本论文是基于电解液-氧化物-半导体结构的传感器基础研究，本论文的工作主要包括器件制备、测试、内部机理分析和传感开发等方面，特别是在EOS结构的三电极测试、导电过程的整体模型和铜离子检测的探索等研究方面都有创新性工作。我们通过半导体加工技术来制备不同的EOS结构，然后应用三电极测试方法来表征电解液-氧化物-半导体结构。理论模型方面通过综合电解质溶液理论、双电层理论、RRAM导电细丝阻变模型系统地分析了电解液-氧化物-半导体结构的单向导电过程。　　实验结果的分析方面，从阈值电压的角度来分析EOS结构的I-V特性曲线，在此新思路的指导下从对含铜离子的电解液-氧化物-半导体结构的实验结果中发现了尖角现象，应用之前提出的理论模型具体分析了该现象的内部机理。由尖角现象的发现进而拓展到将其应用于铜离子检测传感器。最后，总结过去的经验和已有成果，分析了在今后的研究过程中电解液-氧化物-半导体结构传感器研究可能取得突破的方向。