【摘 要】
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本文综述了厚薄膜电阻微调的常用方法及其原理,重点介绍了激光微调技术在厚薄膜电阻微调中的应用,引入了薄膜电阻激光微调的理论模型,依据此模型,分析了在进行电阻微调过程中
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本文综述了厚薄膜电阻微调的常用方法及其原理,重点介绍了激光微调技术在厚薄膜电阻微调中的应用,引入了薄膜电阻激光微调的理论模型,依据此模型,分析了在进行电阻微调过程中,激光参数的选择原则:为保证调阻质量,应使激光能量传递到衬底;同时,为不使衬底产生龟裂,应控制到达衬底的激光能量。并全面地阐述了激光调阻机的构成及工作原理,对有关主要单元进行了细致的设计分析,给出了设计参数。介绍了微调电阻常用的形状以及调阻路径,总结了影响激光调阻质量和精度的各种原因,并对各种因素进行了分析,提出了改进措施,通过实验,得出了调阻质量和一些参数的关系,理论分析和实验结果可以为调阻机的调试和应用提供指导作用。
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