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来源 :吉林大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
该文共分为五个部分:首先,我们对测量薄膜的各种方法作了大致介绍,给出椭偏术作为一种被广泛采用的强有力的测试手段的原因;并以椭偏术的应用作了简单的介绍.其次,我们详细剖
【作 者】
:
亓雪松
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
吉林大学
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
薄膜
椭偏术
椭圆偏振测量
椭偏数据
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