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该文研究了脉冲激光烧蚀沉积(PLAD)的方法制备铁电薄膜SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>(SBT),并且采用时间分辨和角分辨的飞行时间四极质谱法和荧光发光光谱法研究了激光烧蚀机理.
铁电薄膜SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>的脉冲激光烧蚀制备及其反应机理研究
【摘 要】
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该文研究了脉冲激光烧蚀沉积(PLAD)的方法制备铁电薄膜SrBiTaO(SBT),并且采用时间分辨和角分辨的飞行时间四极质谱法和荧光发光光谱法研究了激光烧蚀机理.
【机 构】
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复旦大学
【出 处】
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复旦大学
【发表日期】
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2000年期
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