随着高反射膜镀制技术的发展和高反射镜的广泛应用,精确测量反射镜的相关参数变得非常重要。为了测量激光陀螺、干涉仪以及大功率激光器等器件中高反镜的反射率,光腔衰荡技术应运而生。不仅如此,在引力波观测、高灵敏激光光谱、气体含量检测以及物质残留的检测等方面,光腔衰荡技术也有着至关重要的作用。论文对光腔衰荡损耗测量技术进行了研究。阐述了光学谐振腔产生损耗的原因及衰荡法损耗测量的原理。分析了几种主要的光腔衰荡技术。使用LabVIEW语言编写了低损耗测量系统的软件。分别使用低损耗检测系统中的谐振法损耗测量与光腔衰荡法损耗测量对光学谐振腔进行了测量。完成了压电陶瓷自动线性化的软件,使用LabVIEW编写适用于低损耗测量系统的卡尔曼滤波器并对多组谐振腔损耗值进行数据处理,使探测出的损耗值更趋近真值。实验使用光腔衰荡法损耗测量技术检测光学谐振腔,测得多组损耗在600ppm-800ppm之间的低损耗光学谐振腔的损耗值,误差为±9ppm。