采用场发射扫描电子显微技术(FESEM)和离线原位电子背散射衍射(EBSD)技术研究了经临界变形量冷轧高纯铝(99.99%)样品在退火过程中的晶粒粗化行为.结果表明:1、经90%塑性变形量的高纯铝试样在在320℃3min的退火条件下可以得到40~50μm平均晶粒尺寸的初次再结晶晶粒。2、平均晶粒尺寸为40μm的纯铝的临界变形量为10%。3、晶粒尺寸为40μm的高纯铝在经过10%的临界变形冷轧之后,再经480℃15min能够形成均匀的粗晶组织,晶粒尺寸达到200μm以上。4、通过对试样晶粒内部最大取向差的统计结果以及样品放置位置误差等因素,将初始晶粒与退火后晶粒的取向差临界角度值确定为10?,并以此为依据,判断出粗化的晶粒很可能是由初始晶粒经临界变形后在退火后的原位演变而来并非经重新形核长大而来。5、通过试样初始状态、临界变形状态和退火状态的取向分布函数(ODF)进行对比,发现低变形量时冷轧织构基本没有发生变化,退火也没有新的织构组分生成,而是原来的某些织构组分增强,从织构的角度说明了退火后的粗晶组织来源于初始的再结晶组织。6、临界变形量冷轧高纯铝在退火过程中得到的粗晶是由某些取向的初始晶粒发展而来,这些取向主要为{611}(偏离{100}晶面13°)<106>和{611}<6 1 6>。