近年来环境污染问题越来越受到人们的重视,而在大气污染的因素中,挥发性有机物(VOCs)的污染逐渐受到人们关注。针对VOCs的处理技术有很多,燃烧法由于其对VOCs具有较高的处理效率成为目前研究的热点。但是传统的加热方式存在催化剂受热不均以及升温降温过程缓慢等特点,制约了催化剂的催化燃烧活性以及VOCs的处理效果。微波加热具有升温速率快,加热均匀等优点,具有替代传统加热方式的潜力。本文以碳化硅为载体,采用溶胶凝胶法制备了铜锰铈复合金属氧化物作为催化剂,同时制备了以二氧化钛为第二载体负载氧化铂作为催化剂,选取了典型的甲苯作为处理对象进行微波催化燃烧实验研究。研究考察了催化剂负载对催化剂吸波性能的整体影响,催化剂涂覆牢固程度,同时考察了催化剂对甲苯的催化活性以及不同工艺参数条件对催化效果的影响。论文通过X射线衍射、扫描电镜、比表面积测试、热重测试等分析手段对催化剂进行了表征,同时比较了微波加热和传统电加热对催化活性的影响。研究结果表明负载催化剂涂层以后,碳化硅整体的吸波性能基本没有影响,催化剂涂层在碳化硅表面附着牢固;两种催化剂在微波场下均表现出了良好的催化活性,负载铜锰铈氧化物后在280℃就能去除90%的甲苯,负载Pt/TiO2后在220℃就能去除90%的甲苯。通过微波加热和电加热的对比,可以看出在达到相同的温度下,微波催化的去除效率要高出20%-50%,催化性能更好,同时能耗更低。同时设计了微波场条件下催化氧化VOCs气体净化装置,为其在工业上的应用提供基础。