【摘 要】
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类金刚石碳(DLC)膜可以使用多种方法在不同的基底材料上沉积,它不但具有许多与金刚石相近的性质,如高硬度、耐磨损、表面光洁度高、高电阻率、高热导率及化学惰性等,而且金刚
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类金刚石碳(DLC)膜可以使用多种方法在不同的基底材料上沉积,它不但具有许多与金刚石相近的性质,如高硬度、耐磨损、表面光洁度高、高电阻率、高热导率及化学惰性等,而且金刚石相比,DLC膜的组成(SP<3>/SP<2>比)可变,因而其性质也在一定范围内可调,可适用与较多的应用场合.最重要的是:DLC膜可在低温或接近室温的条件下制备,减少了膜的应力,为它的实际应用建立了一个良好的前提,这也是目前人们致力于研究它的一个主要原因.
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