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本文采用EA-CVD方法沉积金刚石膜,系统地研究了甲烷流量和热丝排布等工艺参数对金刚石膜生长特性的影响,金刚石膜中的热应力及裂纹控制,建立了制备大尺寸高质量金刚石厚膜的最佳工艺条件,成功地制备出直径为100mm,厚度为1.4mm的金刚石厚膜。研究了氮掺杂对金刚石膜的生长速率、结晶性、品质及内应力的影响以及氮杂质在金刚石膜中的存在形式,结果表明金刚石膜中的氮以Ns0、[N-V]0、[N-V]-1等形式存在。