论文部分内容阅读
TiO_2是一种典型的光催化材料,在紫外光照射下可有效地将有机污染物降解为CO_2、H2等小分子,从而达到处理有机污染物的目的,这被认为是解决环境污染和能源危机的有效途径之一。TiO_2薄膜以其良好的化学稳定性、抗磨损性、低成本、无毒、易制备等特点在光催化、自清洁玻璃、太阳能电池等领域得到光泛应用。在TiO_2薄膜的众多制备方法中,直流磁控溅射(DMS)技术具有可控性好、溅射速率快且制备的TiO_2薄膜具有很好的光学性能等优点而得到广泛应用。研究表明,晶体类型、晶粒尺寸、比表面积大小等是影响TiO_