随着MEMS技术的迅速发展,许多种微型器件被研究开发以用于生物医学领域。可植入式微器件是目前MEMS技术应用于医学领域的一个前沿课题。本文主要研究了可植入式器件中的若干问题,包括三个部分:第一部分:一种用于可植入微型射频MEMS电感线圈的研究首先分析了硅衬底上电感模型及影响其品质因数的各个因素,在此基础上研究玻璃衬底上的微型射频MEMS电感线圈,运用HFSS软件进行优化设计,确定了制作工艺,完成了器件的微制造并进行了测试。第二部分:可植入式器件封装技术的研究在对可植入式器件的要求、性质进行分析的基础上,研究了可植入式器件的封装技术。然后以微型射频MEMS电感线圈作为样品分别使用两种方法:金属封装法与复合Si_xN_y-SiO₂-Si_xN_y介质薄膜和有机硅胶连用的封装法对其进行封装,对封装好的样品在模拟人体环境的生理盐水中进行了测试。测试结果表明,使用复合介质薄膜和有机硅胶进行封装具有更好的性能,能使微器件在植入环境中长期工作。第三部分:可植入式信号发射系统的初步研究在分析了可植入式信号发射与接收系统的工作要求的基础上对其信号发射与接收电路进行了分析,接着研究了一种脉冲振荡器芯片,结果表明:这个脉冲振荡器芯片能够满足可植入式信号发射系统的要求。