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目前,“三明治”结构(D/M/D)的透明导电氧化物薄膜(Transparent Conductive Oxide Films,简写为TCO)由于具有制备工艺简单和重复性较好等优点,在太阳能电池、发光二极管、液晶显示器、平板显示器等应用中是重要的光电子器件,是凝聚态物理和光电子材料研究的一个热点。ZnO/Cu/ZnO多层薄膜不仅具有良好的光电性能,而且Cu的价格相比一些贵金属材料(如Ag、Au、Pt)便宜,作为多层薄膜的金属层,应用于光电器件中可以明显降低器件的制造成本,因此探究ZnO/Cu/ZnO多层薄膜的制备工艺,改善其光电性能,为进一步了解该膜系提供基本参数,具有一定的参考价值。本论文利用磁控溅射系统在载玻片基底上制备ZnO/Cu/ZnO多层薄膜,并从ZnO层厚度、Cu层厚度、稳定性三个方面研究了其光电性能。研究的主要内容与结果如下:1、采用磁控溅射系统在载玻片基底上制备ZnO/Cu/ZnO多层薄膜。实验过程中固定Cu层厚度,改变ZnO层厚度。利用紫外可见分光光度计和四探针电阻测试仪,研究ZnO层厚度对多层薄膜光学性质和电学性质的影响。实验结果表明:增加ZnO层厚度可以提高多层薄膜在可见光区域的平均透过率,这一结果与FDTD solution计算结果一致。另外,本论文发现ZnO层厚度对多层薄膜方块电阻的影响很小。2、与上面实验条件一致,采用磁控溅射系统在载玻片基底上制备ZnO/Cu/ZnO多层薄膜。实验过程中固定ZnO层的厚度,改变Cu层厚度。利用紫外可见分光光度计和四探针电阻测试仪,研究Cu层厚度对多层薄膜光学性质和电学性质的影响。实验结果表明:Cu层厚度的增加不利于多层薄膜在可见光区域平均透过率的提高;但是可以明显降低其方块电阻,从而改善多层膜的电学性能。3、将制备好的样品放置在自然环境中90天,研究了品质因子FOM的稳定性。实验结果表明:在高真空环境制备的ZnO/Cu/ZnO多层薄膜光电性能具有良好的稳定性。本论文对制备ZnO/Cu/ZnO多层薄膜的工艺条件进行了优化,得到了ZnO和Cu层薄膜的最优沉积参数,并在玻璃基底制备出了品质因子FOM值为2.95×10-3(Ω-1)的多层透明导电薄膜,因此该多层薄膜可以应用于太阳能电池、发光二级、平板显示器等光电器件的窗口电极。