激光调阻机是激光刻蚀技术在电子加工工业中的一种应用,是集光学、精密机械、计算机控制和精密测量技术于一体的高技术的加工设备,主要用于厚薄膜电阻的微调加工。 本文介绍了透镜前双振镜二维扫描方式的激光调阻系统,阐述了激光微调的工作原理及特点;建立了激光调阻机双振镜二维扫描系统的数学模型,推导出扫描场内任意点的坐标与振镜偏转角之间的函数关系式,并分析了用简化关系式代替推导所得的函数关系式控制振镜扫描时所产生的畸变,最后提出了用理论关系式的等效关系式来控制振镜扫描,用等效关系式控制振镜扫描时不仅可以得到高精度,达到了微米量级,而且用等效关系式对振镜进行控制时,还能够实现激光调阻机的高速度要求,从而达到校正的目的。 此外,本文通过建立数学模型分析了激光调阻机光学系统的装配误差,主要包括入射光线与光学系统光轴倾斜和第二振镜与f~θ透镜非正交,并提出了利用两振镜绕转轴偏转一定的角度补偿上述安装误差的补偿方法,这对与激光调阻机今后的性能提高工作具有非常高的应用价值。