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随着MEMS(微机电系统)技术的发展,作为动力元件以及关键执行部件的微电机,一直是微机电领域研究的焦点之一。微电机兼有驱动和精密控制双重功能,在信息、医疗、航天航空、军事等领域有广泛应用前景。要实现微电机的正常工作,其转子稳定旋转尤为重要。本文针对悬浮转子轴向驱动静电微电机,主要研究其闭环控制系统。本文的主要研究内容和成果如下:首先,介绍了微电机的结构、悬浮和旋转机理,建立了转子旋转的二阶动力学模型,给出了微电机结构的差分电容等效模型,提出实现微电机闭环控制的开关控制策略。