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随着科学技术和社会经济的不断发展,各个领域对电能的需求变得越来越大,而传统电能获取方式使得可利用的传统能源变得越来越少。为了解决目前面临的能源危机,“新能源”成为了科学研究领域的热点。目前,应用比较成熟的新能源主要包括太阳能、风能、水能和核能等。而在微电子系统中,能量的供给问题也越来越受到人们的关注,由于其能量供给方式具有一定的特殊性,比如能量获取装置的结构尺寸不能太大、系统的能量消耗很小等,在这种情况下,压电能量凭借着收集方式简单、应用范围广、无电磁干扰、无污染等优点,成为了微电子系统供电的理想选